ランクセス、半導体製造用超純水向け混床樹脂の新製品「レバチット」ウルトラピュア 1296 MD PLUSを発表

ランクセスは、半導体製造で使用される超純水向けに新たに混床樹脂を開発しました。従来品の「レバチット」ウルトラピュア 1296 MD混床樹脂と比較し、新製品の「レバチット」ウルトラピュア 1296 MD PLUSは、鉄、亜鉛、ナトリウムなどの金属の含有量を大幅に低減します。（写真：ランクセス）

ドイツの特殊化学品メーカー、ランクセス（LANXESS）は、半導体製造で使用される超純水向けに新たに混床樹脂を開発したことを発表しました。従来品の「レバチット^®（Lewatit^®）」ウルトラピュア 1296 MD混床樹脂と比較し、新製品の「レバチット」ウルトラピュア 1296 MD PLUSは、鉄、亜鉛、ナトリウムなどの金属の含有量を大幅に低減します。イオン交換樹脂「レバチット」ウルトラピュアは、半導体製造で使用される超純水用の最終ポリッシングフィルタとして早期から導入され、現在の検出限界に近い結果を生み出してきました。

ランクセスは、2023年10月10日～12日に米国テキサス州オースティンで開催されているUltraPure Micro 2023カンファレンスにおいて、このイオン交換樹脂の新製品を来場者に公開しています。

ランクセスの液体高純化テクノロジーズビジネスユニットのテクニカルマーケティングマネージャーであるハンス－ユルゲン・ヴェーデマイアーは次のように述べています。「ドイツで生産された『レバチット』ウルトラピュア 1296 MD PLUSは、急速に成長する国際半導体産業において、コスト効率が高く持続可能で欠陥のない製造に不可欠なコンポーネントです」

極めて困難な課題にも対応する「レバチット」ウルトラピュア 1296 MD PLUS

半導体やディスプレイの製造では、使用する水の純度を確保するために複雑な水処理が必要です。それに応じて、最新世代のウエハーとマイクロチップでは、使用するイオン交換樹脂システムに高いレベルの品質が要求されます。さらに、新しい分析システムでは、ppt（1兆分率）オーダーのレベルでイオンを分析することができ、イオンの種類によっては、ppq（1000兆分率）のレベルまでの分析が可能です。現代の産業で要求される半導体の性能を実現するためには、200もの処理工程が必要です。そのために必要な超純水は、複雑な多段階プロセスによって供給されます。この処理の中でも最も重要な工程に、標準的なイオン交換、逆浸透、脱気、限外ろ過、過酸化水素の除去による、通常の一次脱塩がありますが、最終段階で行うのが超純水用混床樹脂を用いた最終ポリッシングです。新製品のイオン交換樹脂「レバチット」ウルトラピュア 1296 MD PLUSは、プロセス全体の有効性に不可欠なこの最終段階のために特別に開発されました。

このように処理された超純水は、マイクロチップ製造時のエッチングや洗浄工程でも使用できます。「アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂の高いトータル性能と再生性は、金属イオンだけでなく、ホウ素やシリカの除去においても優れた処理能力をもたらしています」とヴェーデマイアーは述べ、また次のように付け加えています。

「単分散コンポーネントのビーズ粒径は、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂が誤って分離しないように設計されています。さらに、『レバチット』ウルトラピュア 1296 MD PLUSの特殊な製造プロセスにより、微粒子やTOCの放出は極めて低い範囲に収まっているのです」

液体高純化テクノロジーズビジネスユニットの製品の詳細については、以下のウェブサイトにてご確認いただけます。
https://lanxess.co.jp/jp/products-japan/business-units-japan/liquid-purification-technologies-japan/　（日本語サイト）

www.lewatit.com　（英語サイト）　

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これは、ドイツ・ケルンで9月29日に発表されたリリースをもとに、ランクセス株式会社が発表したものです。

この原文（英語）は、以下のURLにてご参照下さい。 http://www.press.lanxess.com

ランクセスについて

ランクセスは、世界32カ国で事業を展開する大手特殊化学品メーカーです。2022年の総売上は81億ユーロにのぼり、全世界の従業員数は約 13,100人です。主な事業は、中間体、添加剤、コンシューマープロテクション製品の開発、製造とマーケティングです。ランクセスは、持続可能性に優れた企業を選定する「ダウ・ジョーンズ・サステナビリティ・インデックス」のワールド・インデックス（DJSI World）及びヨーロッパ・インデックス（DJSI Europe）の構成銘柄です。

ランクセスについての詳細は同社URLにてご確認下さい。

www.lanxess.co.jp

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(2023-0929J)